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SMC真空泵系统 阀 描述 ZR 系列 大型真空单元 真空泵系统 阀单元 真空用压力开关 真空过滤器 ●对应真空发生器系统和真空泵系统 ●由于使用模块化设计,故可自由选择必要的功能组合 ●由于使用双电控,故具有自我保持机能 ●可集装 ●可选择数字式真空开关、电磁阀等机能